삼성디스플레이 유리기판에도 기술 채택…중국ㆍ일본도 특허출원
삼성전자가 반도체 유리기판 시장에 본격 진출할 것이란 소식 뒤 관련 보유기술기업에 관심이 몰리고 있다. 이런 가운데 유리기판 식각(에칭) 원천기술을 보유한 에프엔에스테크가 주목을 받고 있다. 에프엔에스테크는 2002년 설립된 디스플레이 습식 식각 공정 장비 전문 제조기업이다.
삼성디스플레이뿐 아니라 중국과 일본 등에서도 평판디스플레이 유리기판 에칭장치 관련 특허를 출원한 상태다. 이 원천 기술을 토대로 반도체 유리기판 식각 장비를 준비한 셈이다.
12일 본지 취재에 따르면 에프엔에스테크가 오랫 동안 반도체 유리기판 식각 장비기술 준비를 마치고 수주 활동을 본격 전개한다. 이런 상황 속에서 최근 삼성전자가 반도체 유리기판 개발에 나선다는 소식이 전해졌다.
삼성전자가 반도체 유리기판 상용화를 위해 복수의 소재·부품·장비(소부장)사들과의 협력을 추진하고 있다는 소식이다. 삼성 반도체 사업부문(DS) 내 첨단 패키징 관련 인력을 중심으로 프로젝트가 진행 중이고 삼성전자만의 독자 공급망을 구축한다는 구상까지 나왔다. 삼성전자의 유리기판 개발 계획이 확인된 건 처음이다.
관련업계에서는 에프엔에스테크에 관심이 모아지고 있다. 에프엔에스테크가 보유한 유리기판 식각(에칭) 원천기술 때문이다.
에프엔에스테크는 2002년 설립된 디스플레이 습식 식각 공정 장비 전문 제조사다. OLED(유기발광다이오드)의 세정, 박리, 식각 등에 활용되는 장비를 제조, 삼성디스플레이 등에 납품하면서 사세를 키웠다.
이후 에프엔에스테크는 사업포트폴리오 차원에서 반도체 유리기판 사업으로 확장을 준비했다. UV 램프(LAMP)와 CMP 패드(PAD) 등 반도체 부품 제조업이다. 에프엔에스테크가 OLED 사업 초기부터 고도화한 식각 기술을 기반으로 한 부품이다. UV 램프의 경우 반도체 웨이퍼 표면의 유기물 등을 램프로 조사, 분해하는 방식으로 제거하는 세정 부품이다. CMP(Chemical Mechanical Polishing) 패드 역시 웨이퍼 평탄화 작업에 소모되는 부품이다. 고적층 낸드플래시 생산이 늘면서 수요 역시 증가하고 있다.
에프엔에스테크 측은 조심스러운 입장이다. 유리기판 원천기술을 확보한 상태이나 고객사 등이 확정되지 않아 부담스럽다는 이유에서다.
에프엔에스테크 측은 "삼성전자 반도체 유리기판에 맞춘 기술을 오랫 동안 준비했다"며 "유리기판 원천기술을 확보하고 있어, 고객사가 무엇을 원하는 지에 맞출 수는 있다"고 귀띔했다.
에프엔에스테크의 식각 장비기술은 유리가 가장 많이 필요로 하는 삼성디스플레이에서 사용되고 있다. 유리기판 식각을 잘하는 솔브레인이나 켐트로닉스 역시 에프엔에스테크의 식각 장비를 사용하고 있다. 에프엔에스테크가 그만큼 원천기술을 갖고 있다는 의미다.
